用戶對純氮中的含氫量有特殊要求時，可通過工藝手段來控制氮氣中的氫氣含量。若原料氮的氧含量超過0.1%時，則可用加氫除氧和除氫的方式來獲得無氫高純氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，則采用化學除氧工藝方法。

　　高純氮氣廣泛應用于電子、冶金、化工、熱處理、化纖、食品等部門，有些熱處理工藝需要在氮氣中加入一定比例的氫氣時，可提供自動加氫裝置。

　　氮氣純化設備先將原料氫氣加熱后，使其進入裝有鈀催化劑的除氧器。在除氧器中氫氣中的微量氧與氫氣在催化劑作用下，發生氫氧反應生成水汽O2+2H2→2H2O，再經冷凝除水達到除氧之目的。經除氧、除水后的氫氣再經裝有分子篩的干燥器進行深度吸附干燥處理。從而獲得含水量、含氧量極低的高純氫氣。

　　氮氣純化設備的主要特點：

　　1.工藝流程簡單、除氧深度深、露點低；

　　2.電氣裝置按隔爆要求設計；

　　3.運行成本低，設備投資少；

　　4.操作方便、維護簡便；

　　5.可靠性高。

　　高純氮氣指標：

　　1.壓力：0.5-0.6Mpa(可調)；

　　2.常壓露點≤－70℃；

　　3.氧含量≤3ppm；

　　4.氫含量：500-2000ppm；

　　5.氮氣量：10-5000Nm3/hr。